外观与性状：无色气体带有一种恶臭的气味
密度：0.686 g/cm3
沸点：-14.3ºC
熔点：-132.6ºC
稳定性：Pyrophoric. Reacts violently with oxidizers and halogens. May form explosive mixtures with air.
蒸汽压：2940mmHg at 25°C

安全说明：S16-S24-S26-S36-S37-S39
危险类别码：R17
危险品运输编码：UN 2203
危险类别：2.1
危险品标志：F; Xn
信号词：Danger
危险性描述：H220; H280; H312; H315; H319; H332; H334; H335
危险标志：GHS02, GHS04, GHS07, GHS08
危险性防范说明：P210; P261; P280; P305 + P351 + P338; P342 + P311; P410 + P403

生产方法
1.采用硅烷原料气，经流量计进入放电管，在适当温度、频率和电压下，得到含乙硅烷、甲烷和氢的混合气，将混合气在不同的冷却条件下进行吸收，除掉杂质，可得高纯乙硅烷。2.甲硅烷经辉光放电后聚合生成高级硅烷，用液氮冷却回收，采用低温精馏法除去氢和甲硅烷即可。3.采用硅烷原料气，经质量流量计进入放电管，在适当温度、频率和电压下，生成含一定量乙硅烷、甲烷和氢的混合气，混合气在不同的冷却条件下进行吸收，杂质被排出，可得高纯乙硅烷。

用途

用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。 在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。在半导体工艺中用于外延和扩散工艺，也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓。本品可用于太阳能电池生产、分子束外延和离子注入等技术。在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。